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半導(dǎo)體陶瓷零件

  • 在半導(dǎo)體領(lǐng)域,氧化鋁晶圓搬運/支撐叉臂,它的主要作用包括: 高溫爐(退火、CVD、PVD)內(nèi)的晶圓載具 在幾百度乃至上千度的真空或惰性氣氛中,將晶圓置于爐管中心或反應(yīng)區(qū),并在工藝結(jié)束后安全取出。 陶瓷材質(zhì)保證結(jié)構(gòu)剛性且熱膨脹系數(shù)低,不會因反復(fù)劇烈升降溫而變形。

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